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04
02
2025
吉通科技申请提高光刻机分辨率专利,大幅提升光刻机的分辨率
2025/02/04
金融界2025年1月28日消息,国家知识产权局信息显示,吉通科技(广州)有限公司申请一项名为“改进4的一种提高光刻机分辨率的方法”的专利,公开号CN 119356036 A,申请日期为2024年7月。 专利摘要显示,改进4的一种提高光刻机分辨率的方法,本发明将光存储单元置于物镜和晶圆之间,曝光时,信号光经过透镜系统后,在光存储单元以原子自旋波的形式临时保存,光的能量转化为光存储单元介质原子的能量,随后所存储的光信息会按照原来的方向释放出来,可以视为1个理想的点光源,这个点光源按照原来的方向传播...